Сусцептор барел обложен со SiC за комора за епитаксијален реактор

Бурето за епитаксијална реакторска комора обложено со SiC на Semicorex е производ со врвен квалитет, произведен според највисоките стандарди за прецизност и издржливост. Тој нуди одлична топлинска спроводливост, отпорност на корозија и е многу прилагоден за повеќето епитаксијални реактори во производството на полупроводници.
Нашиот SiC-обложен сусцептор барел за епитаксијална реакторска комора е дизајниран да постигне најдобра шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте нè денес за да дознаете повеќе за нашата барел за епитаксија реактор обложена со SiC.

Параметри на SiC-обложена барел за суцептор за епитаксијална реакторска комора

Карактеристики на SiC-обложена барел за суцептор за епитаксијална реакторска комора

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.