Сусцептор барел обложен со SiC за комората за реактор на LPE

Сусцепторската барел обложена со SiC на Semicorex за LPE реакторска комора е производ со врвен квалитет, произведен според највисоките стандарди за прецизност и издржливост. Тој нуди одлична топлинска спроводливост, отпорност на корозија и е многу прилагоден за LPE апликации во производството на полупроводници.

Нашата комора за реактор со LPE обложена со SiC е дизајнирана да ја постигне најдобрата шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.

Контактирајте нè денес за да дознаете повеќе за нашата барел за сусцептор обложен со SiC за комората за реактор LPE.

Параметри на барел за сусцептор обложен со SiC за комора за реактор со LPE

Карактеристики на SiC-обложена барел за суцептор за комората за реактор LPE

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.