Поддржувач на буриња обложен со SiC

СемикорексПоддржувач на буриња обложен со SiCе носач на графит обложен со SiC со висока чистота, кој во процесот се користи за растење на епитаксијалниот слој на чипот на нафора, кој е погоден за многу епитаксијални реактори. Има висока отпорност на топлина и корозија, која има голема стабилност во екстремна средина.
НашиотОбложено со SiCBarrel Susceptor е исто така отпорен на високотемпературна оксидација и корозија, што го прави сигурен и издржлив производ. Неговата висока точка на топење гарантира дека може да ја издржи околината со висока температура потребна за ефикасно производство на полупроводници.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашитеОбложено со SiCБуре ресивер

Параметри наОбложено со SiCБуре приемник

Карактеристики наОбложено со SiCБуре приемник

- Избегнувајте лупење и обезбедете премачкување на целата површина

Отпорност на оксидација на високи температури: Стабилен на високи температури до 1600°C

Висока чистота: направена со CVD хемиско таложење на пареа под услови на хлорирање со висока температура.

Отпорност на корозија: висока цврстина, густа површина и фини честички.

Отпорност на корозија: киселина, алкали, сол и органски реагенси.

- Постигнете ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас

- Гарантира рамномерност на термичкиот профил

- Спречете секаква контаминација или дифузија на нечистотии