Буре со епиаксијален реактор обложен со SiC

Епитаксијалниот реактор со обложен Semicorex SiC е производ од графит со врвен квалитет обложен со SiC со висока чистота. Неговата одлична густина и топлинска спроводливост го прават идеален избор за употреба во процесите на LPE, обезбедувајќи исклучителна дистрибуција на топлина и заштита во корозивни и високи температури.

Испрати барање

Опис на производот

Кога станува збор за производство на полупроводници, бурето со епиаксијален реактор обложено со Semicorex SiC е најдобриот избор за супериорни перформанси и исклучителна дистрибуција на топлина. Обложен со SiC со висока чистота, овој графитен производ обезбедува извонредна отпорност на корозија и топлина, обезбедувајќи сигурни и конзистентни резултати секој пат.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашето буре со епиаксијален реактор обложено со SiC има предност во цената и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на барел на епитаксијален реактор обложен со SiC

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на барел со епитаксијален реактор обложен со SiC

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.