Издржлив сусцептор за буриња обложен со SiC

Со својата одлична густина и топлинска спроводливост, Semicorex Durable SiC-обложена барел Susceptor е идеален избор за употреба во епитаксијални процеси и други апликации за производство на полупроводници. Неговиот SiC слој со висока чистота обезбедува супериорни својства за заштита и дистрибуција на топлина, што го прави главен избор за сигурни и постојани резултати.

Испрати барање

Опис на производот

Ако ви треба висококвалитетен графитен сенцептор со супериорна отпорност на топлина и корозија, не гледајте подалеку од Semicorex Durable SiC-обложена буричка подлога. Неговата обвивка од силициум карбид обезбедува исклучителна топлинска спроводливост и дистрибуција на топлина, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси дури и во најсложените средини со високи температури.
Нашиот траен подлога за буриња обложен со SiC е дизајниран да ја постигне најдобрата шема на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте нè денес за да дознаете повеќе за нашиот траен чеплив за буриња обложен со SiC.

Параметри на трајниот сусцептор за буриња обложен со SiC

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на трајниот сусцептор за буриња обложен со SiC

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.