Кога станува збор за производството на полупроводници, Semicorex виско-температурниот SiC-обложен буриња е најдобриот избор за супериорни перформанси и доверливост. Неговиот висококвалитетен SiC слој и исклучителната топлинска спроводливост го прават идеален за употреба дури и во најсложените средини со висока температура и корозија.
Поддржувачот за буриња со високотемпературен SiC обложен Semicorex е совршен избор за раст на еден кристал и други апликации за производство на полупроводници кои бараат висока отпорност на топлина и корозија. Неговата обвивка од силициум карбид обезбедува супериорни својства за заштита и дистрибуција на топлина, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси дури и во најпредизвикувачките средини.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување на висококвалитетен, економичен и високотемпературен сензор за буре обложена со SiC, даваме приоритет на задоволството на клиентите и обезбедуваме исплатливи решенија. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со висок квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Параметри на високотемпературен суцептор за буре обложен со SiC
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на вискотемпературниот сусцептор за буриња обложен со SiC
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.
- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.
- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.