Подлога за буриња на LPE со SiC облога

Ако барате висококвалитетен графитен сенцептор обложен со SiC со висока чистота, Semicorex LPE Barrel Susceptor with SiC Coating е совршен избор. Неговата исклучителна топлинска спроводливост и својства за дистрибуција на топлина го прават идеален за употреба во апликации за производство на полупроводници.

Испрати барање

Опис на производот

Semicorex LPE барел сусцептор со облога SiC е графитен производ со врвен квалитет обложен со високо-чистотен SiC, што го прави идеален избор за употреба во високи температури и корозивни средини. Неговата одлична густина и топлинска спроводливост обезбедуваат исклучителна дистрибуција на топлина и заштита во апликациите за производство на полупроводници.

Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашиот суцептор за буриња LPE со слој SiC има ценовна предност и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.

Параметри на LPE барел сусцептор со SiC облога

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	Фаза FCC Î²
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	¼ м	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J·kg-1·K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на LPE барел сусцептор со SiC облога

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.