Semicorex SiC обложена буриња за нафора епитаксијална е совршен избор за апликации за раст на еден кристал, благодарение на неговата исклучително рамна површина и висококвалитетната облога на SiC. Неговата висока точка на топење, отпорност на оксидација и отпорност на корозија го прават идеален избор за употреба во средини со висока температура и корозија.
Барате графитен сензор со исклучителна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост? Не гледајте подалеку од Semicorex SiC обложениот тенџер за буриња за нафора епитаксијален, обложен со SiC со висока чистота за супериорни перформанси во епитаксијалните процеси и други апликации за производство на полупроводници.
Во Semicorex, ние се фокусираме на обезбедување висококвалитетни, економични производи за нашите клиенти. Нашиот SiC обложен буриња за нафора епитаксиал има предност во цената и се извезува на многу европски и американски пазари. Наша цел е да бидеме ваш долгорочен партнер, обезбедувајќи производи со постојан квалитет и исклучителна услуга за клиентите.
Параметри на SiC обложена барел сенцептор за нафора епитаксијален
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на SiC обложена барел чувствителност за нафора епитаксијален
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.
- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.
- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.