Поддржувач на барел од графит обложен со SiC

Семикорекс SiC обложениот графит за буриња е совршен избор за апликации за производство на полупроводници кои бараат исклучителна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост. Неговиот SiC премаз со висока чистота и супериорната густина обезбедуваат супериорни својства за заштита и дистрибуција на топлина, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси дури и во најпредизвикувачките средини.

Нашиот држач за буре со графит обложен со SiC е дизајниран да го постигне најдобриот модел на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.

Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот сенцептор за буре со графит обложен со SiC.

Параметри на SiC обложена графит барел сусцептор

Карактеристики на SiC обложена графит барел сенцептор

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.