Ако барате графит сензор со високи перформанси за употреба во апликации за производство на полупроводници, идеалниот избор е Semicorex SiC обложениот графит со барел. Неговата исклучителна топлинска спроводливост и својства за дистрибуција на топлина го прават вистинскиот избор за сигурни и постојани перформанси во високи температури и корозивни средини.
Семикорекс SiC обложениот графит за буриња е совршен избор за апликации за производство на полупроводници кои бараат исклучителна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост. Неговиот SiC премаз со висока чистота и супериорната густина обезбедуваат супериорни својства на заштита и дистрибуција на топлина, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси дури и во најпредизвикувачките средини.
Нашиот држач за буре со графит обложен со SiC е дизајниран да го постигне најдобриот модел на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.
Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот сенцептор за буре со графит обложен со SiC.
Параметри на SiC обложена графит барел сусцептор
Главни спецификации на CVD-SIC облогата |
||
Својства на SiC-CVD |
||
Кристална структура |
FCC β фаза |
|
Густина |
g/cm ³ |
3.21 |
Цврстина |
Викерс цврстина |
2500 |
Големина на зрно |
μm |
2~10 |
Хемиска чистота |
% |
99.99995 |
Топлински капацитет |
J kg-1 K-1 |
640 |
Температура на сублимација |
℃ |
2700 |
Фелексурална сила |
MPa (RT 4-точка) |
415 |
Модул на Јанг |
Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃) |
430 |
Термичка експанзија (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Топлинска спроводливост |
(W/mK) |
300 |
Карактеристики на SiC обложена графит барел сенцептор
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.
- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.
- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.
- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.
- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.