Поддржувач за буре од графит обложен со SiC

Ако барате графит сензор со високи перформанси за употреба во апликации за производство на полупроводници, идеалниот избор е Semicorex SiC обложениот графит со барел. Неговата исклучителна топлинска спроводливост и својства за дистрибуција на топлина го прават вистинскиот избор за сигурни и постојани перформанси во високи температури и корозивни средини.

Испрати барање

Опис на производот

Семикорекс SiC обложениот графит за буриња е совршен избор за апликации за производство на полупроводници кои бараат исклучителна дистрибуција на топлина и топлинска спроводливост. Неговиот SiC премаз со висока чистота и супериорната густина обезбедуваат супериорни својства на заштита и дистрибуција на топлина, обезбедувајќи сигурни и постојани перформанси дури и во најпредизвикувачките средини.

Нашиот држач за буре со графит обложен со SiC е дизајниран да го постигне најдобриот модел на ламинарен проток на гас, обезбедувајќи рамномерност на термичкиот профил. Ова помага да се спречи каква било контаминација или дифузија на нечистотии, обезбедувајќи висококвалитетен епитаксијален раст на чипот на нафора.

Контактирајте со нас денес за да дознаете повеќе за нашиот сенцептор за буре со графит обложен со SiC.

Параметри на SiC обложена графит барел сусцептор

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на SiC обложена графит барел сенцептор

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно подобрување на јачината на поврзување за да се спречи пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.