Графитно буре обложено со силикон карбид

Графит барел обложен со силикон карбид Semicorex е совршен избор за апликации за производство на полупроводници кои бараат висока отпорност на топлина и корозија. Неговата исклучителна топлинска спроводливост и својства за дистрибуција на топлина го прават идеален за употреба во процесите на LPE и други средини со висока температура.

Испрати барање

Опис на производот

Кога станува збор за производство на полупроводници, бурето од графит обложено со силикон карбид Semicorex е најдобриот избор за исклучителни перформанси и доверливост. Неговиот висококвалитетен SiC слој и супериорната густина и топлинска спроводливост обезбедуваат супериорна дистрибуција и заштита на топлината дури и во најпредизвикувачките средини со висока температура и корозивни средини.

Нашето буре од графит обложено со силикон карбид обезбедува рамномерен термички профил, гарантирајќи ја најдобрата шема на ламинарен проток на гас. Спречува каква било контаминација или нечистотии да се дифузираат во нафората, што го прави идеален за употреба во средини во чиста соба. Semicorex е голем производител и снабдувач на SiC обложен графит сусцептор во Кина, а нашите производи имаат добра предност во цената. Со нетрпение очекуваме да станеме ваш долгогодишен партнер во индустријата за полупроводници.

Параметри на барел од графит обложен со силициум карбид

Главни спецификации на CVD-SIC облогата
Својства на SiC-CVD
Кристална структура	FCC β фаза
Густина	g/cm ³	3.21
Цврстина	Викерс цврстина	2500
Големина на зрно	μm	2~10
Хемиска чистота	%	99.99995
Топлински капацитет	J kg-1 K-1	640
Температура на сублимација	℃	2700
Фелексурална сила	MPa (RT 4-точка)	415
Модул на Јанг	Gpa (свиткување 4 точки, 1300℃)	430
Термичка експанзија (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Топлинска спроводливост	(W/mK)	300

Карактеристики на барел од графит обложен со силикон карбид

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат добра густина и можат да играат добра заштитна улога во високи температури и корозивни работни средини.

- Степенот обложен со силициум карбид кој се користи за раст на единечни кристали има многу висока плошност на површината.

- Намалете ја разликата во коефициентот на термичка експанзија помеѓу графитната подлога и слојот од силициум карбид, ефикасно да ја подобрите јачината на врзувањето за да спречите пукање и раслојување.

- И графитната подлога и слојот од силициум карбид имаат висока топлинска спроводливост и одлични својства за дистрибуција на топлина.

- Висока точка на топење, отпорност на висока температура на оксидација, отпорност на корозија.