Еднокристални силиконски електроди

Еднокристални силиконски електродиобично се инсталирани на врвот на комората за офорт, служејќи како горна електрода. Површината на еднокристалните силиконски електроди има рамномерно распоредени микродупки, кои можат рамномерно да доставуваат гас за гравирање во комората за реакција. За време на процесот на офорт, тие работат со долната електрода за да генерираат еднообразно електрично поле, што придонесува за обезбедување идеална работна состојба за прецизно офортување.

Внимателен избор на материјали

Semicorex избира премиум монокристален силициум одгледан во MCZ за производство на еднокристални силиконски електроди, нудејќи перформанси и квалитет на водечки производ во индустријата.

1. Ултра-висока чистота

Силиконските електроди со еднокристал Semicorex имаат ултра висока чистота од над 99,9999999%, што значи дека содржината на внатрешните метални нечистотии е исклучително мала.

2. Исклучителна униформност на отпорот

Различно од конвенционалниот CZ еднокристален силициум, монокристалниот силициум израснат во MCZ што го користи Semicorex постигнува униформност на отпорност под 5%. Неговата ниска резолуција. се контролира под 0,02 Ω·cm, средна резолуција. е помеѓу 0,2 и 25Ω·cm и висока резолуција. е помеѓу 70-90 Ω·cm (приспособувањето е достапно на барање).

3. Одлична структура на материјалот

Еднокристалниот силициум одгледуван преку методот MCZ нуди постабилна структура и помалку дефекти, со што силиконските електроди со еднокристал Semicorex даваат извонредна отпорност на корозија на плазмата и издржуваат тешки работни услови за офорт.

---

Прецизност на обработка со висок стандард

Семикорекседнокристален силициумЕлектродите се произведуваат преку целосен производствен процес од силиконски ингот до готов производ, вклучувајќи сечење, површинско мелење, дупчење дупки, влажно офорт и полирање на површината. Семикорекс одржува строга прецизна контрола во секој чекор за да се осигура дека дијаметарот, дебелината, рамнината на површината, растојанието со дупките и отворот на електродите се одржуваат во рамките на идеалните толеранции.

1. Обработка со микродупки

Микро-дупките на еднокристалните силиконски електроди имаат рамномерно растојание и конзистентни дијаметри (во опсег од 0,2 до 0,8 mm), со мазни внатрешни ѕидови без жлебови. Ова ефикасно гарантира еднообразно и стабилно снабдување со гас за офорт, со што се обезбедува униформност и прецизност на офорт на нафора.

2. Точност на обработка

Точноста на обработката на еднокристалните силициумски електроди Semicorex се контролира во рамките на 0,3 mm, а нивната прецизност на полирање може строго да се контролира под 0,1 µm, а финото мелење е помало од 1,6 µm.